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標(biāo)準(zhǔn)探針臺(tái)
PRODUCT

DH系列綜合型探針臺(tái)

產(chǎn)品概要：

DH系列探針臺(tái)是一款綜合型晶圓測(cè)試探針臺(tái), 最大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測(cè)試。此系列探針臺(tái)設(shè)備配置十分豐富，不僅具備龍門(mén)架結(jié)構(gòu)和卡盤(pán)的升降功能，還具備業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的卡盤(pán)快速移動(dòng)技術(shù)，可快速定位樣品位置，提高測(cè)試效率。另外針座平臺(tái)具備三段式升降功能，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離，同時(shí)也方便探針卡的使用。此設(shè)備在大型實(shí)驗(yàn)室或者半導(dǎo)體工廠得到廣泛運(yùn)用，配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表，可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測(cè)試/管芯晶圓/LED/LCD/太陽(yáng)能電池行業(yè)的測(cè)試。此系列探針臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)1μm以上的Pad電極測(cè)試，也可以實(shí)現(xiàn)搭載探針卡的測(cè)試。

技術(shù)特點(diǎn)：

• 卡盤(pán)可 360 度快速移動(dòng)，便于快速定位樣品位置，提高測(cè)試效率 ；
• 三段式可升降探針座平臺(tái)，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離；
• 加厚級(jí)剛性金屬框架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，領(lǐng)先的內(nèi)部防震技術(shù)，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定。
結(jié)構(gòu)功能：
產(chǎn)品實(shí)物圖：
      
 

詳細(xì)參數(shù)

主要參數(shù)：
  • 主體材料：航空級(jí)鋁材
  • 卡盤(pán)材質(zhì)：316不銹鋼鍍金，帶兩個(gè)背電極，呈180度設(shè)計(jì)
  • 卡盤(pán)大小和行程：6英寸，8英寸，12英寸，行程和卡盤(pán)大小匹配，臺(tái)體自帶快速氣浮移動(dòng)功能
  • 卡盤(pán)Z軸升降：chuck快速升降5mm；微調(diào)升降，行程6mm，精度1微米（大波輪+搖桿設(shè)計(jì)）
  • 卡盤(pán)吸附形式：環(huán)形吸附或者多孔真空吸附，均獨(dú)立控制
  • 成像系統(tǒng)：兼容體式顯微鏡，視頻顯微鏡，金相顯微鏡，帶CCD成像系統(tǒng)，可拍照，錄像，標(biāo)尺
  • 探針座：可選直流或者射頻探針座，精度0.5um，0.7um，1um可選
  • 直流夾具：三軸夾具100FA/同軸夾具10PA
  • 探針座平臺(tái)：平臺(tái)可以快速升降，可選擇5mm和250um 兩檔，可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1µm
  • 探針臺(tái)臺(tái)體：帶高剛性龍門(mén)架結(jié)構(gòu)，便于顯微鏡的移動(dòng)，行程2英寸*2*2英寸，精度1um（顯微鏡可氣動(dòng)升降）
  • 探針臺(tái)臺(tái)體：帶自適應(yīng)減震機(jī)構(gòu)，帶標(biāo)準(zhǔn)地線，防止靜電干擾
  • 以上為主要參數(shù)，詳細(xì)參數(shù)可以下載資料或者聯(lián)系我司銷(xiāo)售。

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