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標(biāo)準(zhǔn)探針臺
PRODUCT

DM系列基礎(chǔ)型探針臺

產(chǎn)品簡介:

DM系列探針臺是我司一款基于高校教育與實(shí)驗(yàn)室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓測試探針臺。其結(jié)構(gòu)緊湊,設(shè)計(jì)精密,價(jià)格實(shí)惠,配置靈活,極具性價(jià)比。在高等院校教學(xué)和小型實(shí)驗(yàn)室科研過程中得到了廣泛運(yùn)用,配合對應(yīng)的儀器儀表,用于測試各類器件的IV、CV、I-t、V-t,光電信號,1/f噪聲測試,器件表征測試,RF射頻等。如果您的測試器件pad電極大于50um,此系列探針臺是首選。

產(chǎn)品優(yōu)勢:
整機(jī)一體化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊占地小,可放置于手套箱內(nèi)使用;
自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì),可有效過濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾;
U型平臺鍍鎳設(shè)計(jì),增大針座加載空間的同時(shí)還提高了針座平臺和針座之間的吸附力。

結(jié)構(gòu)功能:

產(chǎn)品實(shí)物圖:
  

 

詳細(xì)參數(shù)


主要參數(shù):
  • 主體材料:航空級鋁材
  • 卡盤材質(zhì):316不銹鋼鍍金,帶兩個(gè)背電極,呈180度設(shè)計(jì)
  • 卡盤大小和行程:4英寸,6英寸,8英寸,行程和卡盤大小匹配
  • 卡盤Z軸升降:chuck快速升降5mm;微調(diào)升降,行程6mm,精度1微米(選件)
  • 卡盤吸附形式:環(huán)形吸附或者多孔真空吸附,均獨(dú)立控制
  • 成像系統(tǒng):兼容體式顯微鏡,視頻顯微鏡,帶CCD成像系統(tǒng),可拍照,錄像,標(biāo)尺
  • 探針座:可選直流或者射頻探針座,精度0.5um,0.7um,1um可選
  • 直流夾具:三軸夾具100FA/同軸夾具10PA
  • 探針臺臺體:帶自適應(yīng)減震機(jī)構(gòu),帶標(biāo)準(zhǔn)地線,防止靜電干擾
以上為主要參數(shù),詳細(xì)參數(shù)可以下載資料或者聯(lián)系我司銷售。