FA失效分析探針臺(tái)的結(jié)構(gòu)主要由探針臺(tái)系統(tǒng)和激光系統(tǒng)組成?？稍诔睾透叩蜏丨h(huán)境下對(duì)芯片進(jìn)行失效分析、射頻特性器件失效分析、材料/器件的IV/CV特性測(cè)試及失效分析、芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試、IC/面板內(nèi)部線路修改/去層等。
•探針臺(tái)系統(tǒng)可以選用：4~12英寸探針臺(tái)
•激光系統(tǒng)可以選用美國(guó)ESI三波段激光器或者法國(guó)quantel激光器
•美國(guó)ESI（NEWWAVE）激光器參數(shù)鐳射波長(zhǎng)1064和532nm和355nm
輸出功率2.2mJ/pulse
擊打頻率1Hz~50Hz
可加工的材質(zhì)：Copper/Gold/Poly Silicon/Aluminum/Silicon Dixoide等
最小加工尺寸1微米(使用100X物鏡)
最大加工尺寸40微米(使用50X物鏡)
•法國(guó)quantel激光器參數(shù)鐳射波長(zhǎng)1064& 532nm& 355nm
輸出功率 1064nm-20mJ &532nm-6mJ &355nm-8mJ
頻率 100Hz
可加工的材質(zhì)：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB//Poly Silicon Dixoide等
可加工的材質(zhì)：Copper/Gold/Poly Silicon/Aluminum/Silicon Dixoide等
可加工的材質(zhì)：Cr/Al/ITO/Mo/矽樹脂/氮化物/Polymide等
最小加工尺寸1微米(使用100X物鏡)
最大加工尺寸40微米(使用50X物鏡)
引導(dǎo)光源模塊/波長(zhǎng)選擇模塊Slit模塊
搭配美國(guó)ESI（NEWWAVE）激光器：
搭配法國(guó)quantel激光器：
