通常需要確定以下問題來確定探針臺(tái)的選型：
1、最大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者器件？
2、探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？
3、點(diǎn)測(cè)樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的mini pad，還是ic內(nèi)部的metal？
4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡最大倍率200倍）
5、最多需要幾根探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)？
6、會(huì)測(cè)試到的最大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對(duì)夾具的要求也會(huì)越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）
7、漏電精度需要達(dá)到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀?yuàn)A具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：最小能測(cè)到的電流的量級(jí)）
8、是否會(huì)用到探針卡？
9、光學(xué)顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？
10、顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)？
11、接駁的測(cè)試儀器接口有哪些？
12、測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫？
13、對(duì)chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？
14、是否需要防震桌？
15、若添置防震桌，是否有壓縮空氣？
