1. 滿足各種溫度的需求(極低溫)
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
( 高溫真空測試)
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。 晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,CINDBEST針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。
2. 體積小,穩(wěn)定性高
與傳統(tǒng)探針臺相比,高低溫真空探針臺的穩(wěn)定性更高,采用先進(jìn)的技術(shù)工藝,讓探針臺在工作過程中流暢性更高,平穩(wěn)性更高,從而保證每次實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性,這樣實(shí)驗(yàn)得出的結(jié)果就會更加準(zhǔn)確,對于企業(yè)快速研發(fā)新產(chǎn)品有很大幫助。
3. 成本更低,可兼容直流跟射頻測試的運(yùn)用
與傳統(tǒng)探針臺相比,這種探針臺采用先進(jìn)的合成材料,成本方面比傳統(tǒng)探針臺更低,但是功能性、精準(zhǔn)性都更加強(qiáng)大,所以銷量火爆是很正常的一件事。
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